Welke ultrahoge zuiverheidseisen regelen gasleidingen?
Semi F72 Standards voor oppervlakteafwerking . uitgestoken<5×10⁻¹⁰ torr·L/sec/cm². Particle counts <0.1 particles/cm³ (>0 . 1μm). Vochtinhoud<10 ppb. Metallic impurities <1 ppb.
Hoe worden gasdistributielassen voorbereid?
Orbitaal lassen met ultra-hoge zuiverheid argon . dubbel-pass lassen voor kritieke lijnen . elektropolishing tot 0 . 25μm ra . passivering met stikstofzuur . definitieve rinsing met 18,2 mΩ · Cm Water.
Welke tests valideert de integriteit van de gasleiding?
Heliumlektesting tot 1 × 10⁻⁹ ATM-CC/sec . resterende gasanalyse voor besmetting . deeltjestelling van purgegas . vochtanalyse door laserspectroscopie . Eindcertificering met het feitelijke proces Gas.}
Hoe worden gaskasten aangesloten op distributiesystemen?
VCR face-sale fittingen voor lek-gedichte gewrichten . Purge-beoordeelde secundaire insluiting . dubbelwandige slang voor gevaarlijke gassen . aarding voor statische besturing . Beperkte stroom of
Welk onderhoud voorkomt de besmetting van het gassysteem?
Jaarlijkse lektests van alle verbindingen . deeltjesbewaking tijdens gaswijzigingen . Regelmatige purge gaskwaliteit Verificatie . Klepverpakking Onderhoud . Strikte wijzigingscontroleprocedures .
